유효 칩 수 극대화 효과

유효 칩 수 (웨이퍼 1 장에서 잘라낼 전체 칩의 수)의 정의는 이해 할 수 있지만 그것을 어떻게 극대화 할 것인가? 일반적으로 최대화되어 있지 않은 것인지? 얼마나 유효 칩이 증가 하는가? 다양한 의문이 솟아 나오는 것 같아요.
우선, 비교의 기준이되는 칩 종횡비 및 웨이퍼 배치 방법을 정하여 둡시다. 그런데, 칩 종횡비의 기준은 사각형합니다. 사각형이 아닌 사각형을 기준으로 할 이유가 없기 때문입니다. 또한, 정사각형 직관적으로 바람직한 형태이기 때문입니다. 왜냐하면 극단적으로 길쭉한 모양으로 긴 쪽이 직경에 도달하면 하나의 칩도 切り出せ 없습니다. 따라서 이에 반대되는 형상 인 정사각형이 바람직하다고 생각하는 것은 자연스러운 일입니다. 다음 웨이퍼 배치 (칩 격자와 웨이퍼 원형 중심의 상대 위치를 결정하는) 생각합니다. 칩의 형상이 직사각형 (정사각형을 직사각형의 하나)에서 웨이퍼 형상이 원형이면 모두 대칭적인 모양입니다.이 경우 상대적인 위치도 대칭적인 위치를 선택하는 것이 자연 스럽습니다. 내가 듣고 수집 한 정보는 웨이퍼 중심을 칩의 모서리 중앙의 2 개소에서 선택하는 방법 (2 점법)가 가장 많습니다.

웨이퍼 배치 최적화의 효과

칩 종횡비 최적화의 효과

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(2023 년 10 월 29 일 업데이트)