有効チップ数最大化の効果

 有効チップ数(ウェーハ1枚から切り出せる完全なチップの数)の定義は理解できても, それをどうやって最大化するのか? 通常は最大化されていないのか? どれくらい有効チップが増加するのか?さまざまな疑問が湧いてくると思います.
 まずは,比較の基準となるチップ縦横比とウェーハ配置の方法を定めておきましょう. さて,チップ縦横比の基準は正方形とします.正方形以外の長方形を基準にする理由が見当たらないのと, 正方形が直感的に好ましい形状であるからです. 何故なら,極端に細長い形状で長い辺が直径に達していると,1つのチップさえ切り出せなくなりますから, その対極の形状である正方形が好ましいと考えるのは自然なことだからです. 次に,ウェーハ配置(チップ格子とウェーハ円中心の相対位置を決めること)ですが, チップの形状が長方形(正方形も長方形の1つ)でウェーハ形状が円であれば, どちらも対称的な形状ですから,相対的な位置も対称的な位置を選ぶのが自然です. 私が聞き集めた情報では,ウェーハ中心をチップの角,中心の2箇所から選ぶ方法(2点法)が一番多いようです.

配置最適化の効果

縦横比最適化の効果

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(2019年 6月19日 更新)