유효 칩 수 극대화 효과
유효 칩 수 (웨이퍼 1 장에서 잘라낼 전체 칩의 수)의 정의는 이해 할 수 있지만 그것을 어떻게 극대화 할 것인가?
일반적으로 최대화되어 있지 않은 것인지?
얼마나 유효 칩이 증가 하는가?
다양한 의문이 솟아 나오는 것 같아요.
우선, 비교의 기준이되는 칩 종횡비 및 웨이퍼 배치 방법을 정하여 둡시다.
그런데, 칩 종횡비의 기준은 사각형합니다.
사각형이 아닌 사각형을 기준으로 할 이유가 없기 때문입니다.
또한, 정사각형 직관적으로 바람직한 형태이기 때문입니다.
왜냐하면 극단적으로 길쭉한 모양으로 긴 쪽이 직경에 도달하면 하나의 칩도 切り出せ 없습니다.
따라서 이에 반대되는 형상 인 정사각형이 바람직하다고 생각하는 것은 자연스러운 일입니다.
다음 웨이퍼 배치 (칩 격자와 웨이퍼 원형 중심의 상대 위치를 결정하는) 생각합니다.
칩의 형상이 직사각형 (정사각형을 직사각형의 하나)에서 웨이퍼 형상이 원형이면 모두 대칭적인 모양입니다.이 경우 상대적인 위치도 대칭적인 위치를 선택하는 것이 자연 스럽습니다.
내가 듣고 수집 한 정보는 웨이퍼 중심을 칩의 모서리 중앙의 2 개소에서 선택하는 방법 (2 점법)가 가장 많습니다.
왼쪽 그림은 웨이퍼 중심을 사각형의 칩 중심에 배치 한 기준 상태의 일례입니다.
이 경우 유효한 칩 개수는 13 개이지만, 웨이퍼 배치를 적절하게 변화 시키면 유효 칩 수를 늘릴 수 있습니다.
이 방법으로 유효 칩 수를 확대하는 것을 배치 최적화라고합니다.
칩의 여러 부분에 웨이퍼를 배치하여 유효한 칩 수가 최대가되는 경우를 선택하는 방법이 가장 간단합니다.
배치 최적화는이 방법으로도 충분히 실용적입니다.
중앙의 그림은 칩 종횡비는 그대로, 웨이퍼 배치만을 최적화하여 활성화 칩 수를 17 개까지 늘린 경우를 보여줍니다.
또한 사각 칩의 면적은 바꾸지 않고, 종횡비 및 웨이퍼 배치를 모두 조정하면 오른쪽 그림과 같이 활성화 칩 수를 19 개까지 늘릴 수 있습니다.
이를 종횡비 최적화라고 부르고 있습니다.
웨이퍼 배치 최적화의 효과
오른쪽 그림은 웨이퍼 중심에 칩 센터 또는 칩 코너 중 하나를 선택합니다. 2 점법에 배치 최적화했을 때의 생산성을 보여줍니다.
가로축은 2 점법에서 얻을 수있는 유효한 칩 개수이며, 세로축은 웨이퍼 배치를 최적화했을 때의 생산성을 보여줍니다.
또한 생산성이 100 % 인 경우, 2 점법 결과가 베스트임을 의미합니다.
또한 그런 경우는 약 25 %있었습니다.
칩 종횡비 최적화의 효과
오른쪽 그림은 칩 종횡비가 1, 즉 사각형의 칩 형상에 대해 영역을 바꾸지 않고 종횡비 만 최적화하면 생산성을 보여줍니다.
구체적으로는 가로축은 웨이퍼 배치를 최적화 한 사각형 칩의 유효 칩 개수, 세로축이 칩 종횡비를 최적화함으로써 증가 된 유효 칩의 비율을 보여줍니다.
많은 사람들은 사각 최선의 칩 형상임을 직관적으로 생각합니다.
실제로 오른쪽 그림과 시뮬레이션에서도 약 40 %는 사각형이 베스트이라는 결과였습니다.
즉, 직관적 큰 실수라고는 할 수 없습니다.
그러나 나머지 60 %는 사각형이 직사각형이 최고였습니다.
그 결과는 놀랍게도이기도했습니다.
또한, 칩 종횡비를 최적화의 효과는 유효 칩 수가 100 개 미만인 경우는 5 % 정도, 500 개 미만이라도 1 % 정도의 효과를 기대할 수 있습니다.
웨이퍼 배치 최적화에 비하면 작은 것 같습니다.
그러나 비교 대상 사각형 칩에 배치 최적화되어있는 상태입니다.
만약 2 점법에 배치 한 경우와 비교한다면, 배치 최적화 및 종횡비 최적화의 두 효과의 합입니다.
이것은 매우 큰 생산성 향상됩니다.
사용 동향
본 서비스의 운용은 배치 최적화가 2017 년 11 월 종횡비 최적화가 2018 년 9 월에 작업을 시작했습니다.
배치 최적화는 이전보다 많은 반도체 업체에서 독자적인 방법으로 실시되고있는 것 같습니다.
당사 방법은 이론적으로 최선이지만 사용하는 이용자는 없었습니다.
한편, 종횡비 최적화에 관해서는 そも 그 비율은 1이 좋다고 생각하는 사람이 더 많다.
또한, 레이아웃 설계 공정에서만 사용 가능한 기술이기 때문에, 이용 대상자의 인원수는 많지 않습니다.
그런 이유도 있고, 너무 이용되고 있지 않습니다.
그러나 최근에는 조금씩 이용자 수가 증가하고 있습니다.
한편, 당사와 같은 외부 사이트를 방문하여 반도체 설계 정보를 입력 할 수없는 경우 이용을 포기하는 분들이 계십니다.
원래 입력 정보라고해도 설계 값에 해당하는 칩 면적뿐만 아직 결정도하지 않은 값입니다.
이외에도 인버터 리드 지역, 웨이퍼 직경, 오리엔테이션 플랫 길이 등을 입력하며,이 값이있는 민감한이라고는 생각하지 않습니다.
따라서 정보 유출의 걱정은 그 자체가 존재하지 않는다고 생각됩니다.
그래도 걱정이되면 실제로 사용하지 않는 조건을 여러 선택 입력 해보십시오.
쉽게 위장 할 수 있습니다.