솔루션의 요점

본 사이트에서 제공하는 반도체 배치 최적화 및 종횡비 최적화의 해법은 특허 공보 (일본 특허 공개 2003-57843 특허 4298571, WO2018-216091)에 적혀 있습니다. 솔루션에 대한 자세한 관심이있는 분은 그들을 참조하십시오. 그러나 특허 공보 수식 등이 많이 쓰여져 있기 때문에 가독성이 없습니다. 그래서 여기에 최적의 솔루션을 이끌 기위한 착안점과 해법의 요점을 설명합니다. 그렇게함으로써이 솔루션의 강점과 약점을 이해할 수 있다고 생각합니다.

공통점 (유한)

웨이퍼 배치 최적화의 요점